Более полувека назад был открыт пьезорезистивный эффект, и с тех пор микросистемные технологии получили значительное развитие. Расширяя возможности микроэлектроники на неэлектронные системы, число областей их применения продолжает увеличиваться. Микродатчики - одна из важнейших областей, используемых в медицинских применениях и микромеханике. Микрофлюидные системы - еще одна значимая область, наиболее часто применяемая в печатающих головках струйных принтеров. Этот учебник сфокусирован на основах микросистемных технологий, давая глубокие знания и четкий путь через эту хорошо установившуюся научную дисциплину. С методическим, ориентированным на студента подходом, "Введение в микросистемную технологию" охватывает следующее: материалы микросистем (включая кремний, полимеры и тонкие пленки) и эффекты масштабирования при переходе на микроуровень; методы фабрикации, основанные на различных свойствах материалов, описания их ограничений и функциональных и формообразующих элементов, получаемых этими методами; датчики и исполнительные механизмы на основе таких элементов, как механические, флюидные и тепловые (описаны компоненты датчика угловой скорости); влияние параметров технологии на свойства микросистем, например, когда функция микросистемного устройства надежна и безопасна. В книге представлены задачи в конце каждой главы, позволяющие проверить понимание ключевых концепций (полные решения доступны на сопутствующем веб-сайте). Также включены практические примеры и кейсы, которые способствуют лучшему пониманию технологии в целом. Благодаря подробному освещению основ микросистемных технологий, эта книга также служит справочником для инженеров и техников, работающих в области микросистемных технологий.
Электронная Книга «Introduction to Microsystem Technology» написана автором Dörte Müller в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9780470770924
Описание книги от Dörte Müller
Over half a century after the discovery of the piezoresistive effect, microsystem technology has experienced considerable developments. Expanding the opportunities of microelectronics to non-electronic systems, its number of application fields continues to increase. Microsensors are one of the most important fields, used in medical applications and micromechanics. Microfluidic systems are also a significant area, most commonly used in ink-jet printer heads. This textbook focuses on the essentials of microsystems technology, providing a knowledgeable grounding and a clear path through this well-established scientific dicipline. With a methodical, student-orientated approach, Introduction to Microsystem Technology covers the following: microsystem materials (including silicon, polymers and thin films), and the scaling effects of going micro; fabrication techniques based on different material properties, descriptions of their limitations and functional and shape elements produced by these techniques; sensors and actuators based on elements such as mechanical, fluidic, and thermal (yaw rate sensor components are described); the influence of technology parameters on microsystem properties, asking, for example, when is the function of a microsystem device robust and safe? The book presents problems at the end of each chapter so that you may test your understanding of the key concepts (full solutions for these are given on an accompanying website). Practical examples are included also, as well as case studies that enable a better understanding of the technology as a whole. With its extensive treatment on the fundamentals of microsystem technology, this book also serves as a compendium for engineers and technicians working with microsystem technology.
