В книге “Spectroscopic Ellipsometry” автор Hiroyuki Fujiwara рассматриваются фундаментальные принципы и применение спектроскопической эллипсометрии (SE).
Книга начинается с обзора технологий SE, затем переходит к анализу данных результатов, полученных от SE. В ней описываются основные данные анализа, принципы и физические основы, а также различные материалы, используемые в различных областях, от индустрии LSI до биотехнологии.
В заключительной главе описаны последние разработки в области мониторинга в реальном времени и контроля процессов, которые привлекли значительное внимание в различных научных и промышленных областях.
Электронная Книга «Spectroscopic Ellipsometry» написана автором Hiroyuki Fujiwara в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9780470060186
Описание книги от Hiroyuki Fujiwara
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.
