Микроэлектромеханические системы (MEMS) представляют собой совокупность микросенсоров и микроактуаторов, которые могут реагировать на изменения окружающей среды под управлением микросхем. Интеграция MEMS в традиционные радиочастотные (RF) схемы привела к системам с улучшенными эксплуатационными характеристиками и меньшими производственными затратами. Внедрение технологий производства MEMS в микро- и миллиметровые волновые системы открывает пути к интегральным схемам с MEMS-актуаторами, антеннами, переключателями и линиями передачи. Получающиеся в результате системы работают с увеличенной полосой пропускания и повышенной эффективностью излучения, и имеют значительный потенциал для применения в быстроразвивающейся области беспроводных персональных коммуникационных устройств. Данная книга обеспечивает передовое освещение этой все более важной области и выделяет перекрывающиеся информационные потребности исследовательских и опытно-конструкторских коллективов в областях RF и MEMS.
- Предоставляет введение в методы микрообработки и их использование в изготовлении микропереключателей, конденсаторов и катушек индуктивности.
- Включает освещение MEMS-устройств для беспроводных систем и систем Bluetooth.
Эта книга является важным чтением для специалистов по проектированию RF-схем, которым требуется введение в технологии MEMS, а также для специалистов по MEMS и кремниевым технологиям, которым требуется введение в проектирование RF-схем.
Электронная Книга «RF MEMS and Their Applications» написана автором K. Vinoy J. в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9780470846193
Описание книги от K. Vinoy J.
Microelectromechanical systems (MEMS) refer to a collection of micro-sensors and actuators, which can react to environmental change under micro- circuit control. The integration of MEMS into traditional Radio Frequency (RF) circuits has resulted in systems with superior performance levels and lower manufacturing costs. The incorporation of MEMS based fabrication technologies into micro and millimeter wave systems offers viable routes to ICs with MEMS actuators, antennas, switches and transmission lines. The resultant systems operate with an increased bandwidth and increased radiation efficiency and have considerable scope for implementation within the expanding area of wireless personal communication devices. This text provides leading edge coverage of this increasingly important area and highlights the overlapping information requirements of the RF and MEMS research and development communities. * Provides an introduction to micromachining techniques and their use in the fabrication of micro switches, capacitors and inductors * Includes coverage of MEMS devices for wireless and Bluetooth enabled systems Essential reading for RF Circuit design practitioners and researchers requiring an introduction to MEMS technologies, as well as practitioners and researchers in MEMS and silicon technology requiring an introduction to RF circuit design.
