Книга "Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций" представляет собой курс лекций, посвященный принципам построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций. В ней описываются физико-химические основы метода Ленгмюра-Блоджетта и ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, а также проблемы деградации параметров пленочных структур.
Кроме того, в книге анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений.
В книге также излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Она будет полезна для специалистов в области микро- и нанотехнологий, а также для всех, кто интересуется современными достижениями в этой области.
Электронная Книга «Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций» написана автором Геннадий Кузнецов в 2008 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Геннадий Кузнецов
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.
