Книга Аскера Кушхова "Процессы микро и нанотехнологии, ионно плазменные процессы" представляет собой всестороннее исследование основ физики взаимодействия низкоэнергетических ускоренных ионов с твердыми телами. В книге раскрываются практические возможности использования технологий ионных воздействий для создания и травление микро и нанопленок, извлечение информации из нее методик для расчета параметров самых разнообразных производственных ионной плазменской реакции процессов обработки различных тонких плёнок и покрытий для практических целей. Кроме того даём методики по определению экспериментальных параметров осаждения наносимых покрытий и проведение операций травления в промышленных масштабах.
В учебном пособии на основании литературных данных излагаются основные сведения по физике взаимодействия низкоэнергетических ускоренных ионов с твердыми телами, а также приводятся практические основы применения полученных эффектов в технологии микро- и наносистем. Изложены также математические методы расчета технологических параметров важнейших ионно-вакуумных процессов, использующихся при получении многослойных пленок, в технологии создания полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также при обработке оптических материалов. Рассмотрены методы и приемы контроля параметров и характеристик ионно-плазмеих прессов, систем программного управления и диагностического оборудования. Основное внимание уделено описанию установки электронно-лучевой литографии Т100-2М, разрабатываемой в Кубанском государственном технологическом университете, приводятся конкретные численные результаты исследований процессов получения пленок с заданными структурными и оптическими характеристиками для задач нанотехнологий. Представлены алгоритмы численного моделирования процесса электронно-пучковой литографии на ОС LINUX с использованием библиотеки PARAVIEW. Предназначено для студентов направления магистерской подготовки 220400 "Промышленные технологии и оборудование" по профилю подготовки "Нанотехнологии в экономике, технике и экологии", учителей средних школ, научных работников и специалистов отраслей высоких технологий электронной, навигационной и приборостроительной промышленности.
Электронная Книга «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» написана автором Аскер Кушхов в 2007 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Аскер Кушхов
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
