"Введение в микрообработку" - доступный учебник, полностью пересмотренный и обновленный, предоставляет обзор технологий изготовления и материалов, необходимых для создания современных микроустройств. Книга демонстрирует, как общие принципы микрообработки могут быть применены в различных областях, чтобы создавать устройства, начиная от нанометровых зондов до солнечных элементов метрового масштаба, а также микроэлектронные, механические, оптические и флюидические устройства. В книге освещены последние достижения в области инженерии подложек, формирования структур, нанесения тонких пленок, подготовки поверхности и соединения элементов. Второе издание включает: расширенные разделы о проблемах, связанных с МЭМС и микрофлюидикой, новые главы о микрообработке полимеров и стекла, а также о последовательных техниках обработки, 200 совершенно новых и 200 измененных иллюстраций, больше информации о методах нанесения, интеграции процессов и экономике микрообработки, 300 домашних заданий, включая задания на концептуальное мышление, оценку порядка величины, стандартные расчеты и проектирование устройств и анализ процессов, решения задач домашних заданий на соответствующем веб-сайте, а также PDF-слайды иллюстраций и таблиц из книги. С ясным разделением основных принципов от более продвинутого материала, этот учебник является ценным пособием для старших студентов бакалавриата и начинающих аспирантов, желающих понять основы микрообработки. Книга также может быть полезным справочным пособием для практикующих инженеров-электриков, ученых-материаловедов, химиков и физиков. www.wiley.com/go/Franssila_Micro2e
Введение в микрофабрику от Sami Franssila - это доступное для понимания руководство, в котором рассказывается о технологиях и материалах, необходимых для создания современных микроустройств. В книге демонстрируется, как общие принципы микрообработки могут применяться в различных приложениях, чтобы создавать устройства от наноразмерных зондов до солнечных батарей метрового размера, а также множество микроэлектронных, механических, оптических и жидкостных устройств в промежутке между ними.
В этом втором издании рассматриваются последние разработки в технологии производства пластин, трафаретной печати, тонких пленок, подготовки поверхности и соединения. Оно включает в себя расширенные разделы по вопросам изготовления МЭМС и микрофлюидики, новые главы по микрообработке полимеров и стекла, а также методы последовательной обработки. В нем также представлены 200 полностью новых и 200 модифицированных рисунков, большее внимание уделено методам копирования, интеграции процессов и экономике микрообработки, а также 300 упражнений для выполнения домашних заданий, включая задания на концептуальное мышление, оценки порядка величин, стандартные расчеты и задачи по проектированию и анализу процессов. Ответы на задания для домашних работ можно найти на соответствующем веб-сайте.
Электронная Книга «Introduction to Microfabrication» написана автором Sami Franssila в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9780470666722
Описание книги от Sami Franssila
This accessible text is now fully revised and updated, providing an overview of fabrication technologies and materials needed to realize modern microdevices. It demonstrates how common microfabrication principles can be applied in different applications, to create devices ranging from nanometer probe tips to meter scale solar cells, and a host of microelectronic, mechanical, optical and fluidic devices in between. Latest developments in wafer engineering, patterning, thin films, surface preparation and bonding are covered. This second edition includes: expanded sections on MEMS and microfluidics related fabrication issues new chapters on polymer and glass microprocessing, as well as serial processing techniques 200 completely new and 200 modified figures more coverage of imprinting techniques, process integration and economics of microfabrication 300 homework exercises including conceptual thinking assignments, order of magnitude estimates, standard calculations, and device design and process analysis problems solutions to homework problems on the complementary website, as well as PDF slides of the figures and tables within the book With clear sections separating basic principles from more advanced material, this is a valuable textbook for senior undergraduate and beginning graduate students wanting to understand the fundamentals of microfabrication. The book also serves as a handy desk reference for practicing electrical engineers, materials scientists, chemists and physicists alike. www.wiley.com/go/Franssila_Micro2e
