Книга "Элионная технология в микро- и наноиндустрии" является учебным пособием, которое рассматривает изменение параметров материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для создания микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Основная цель этого пособия - ознакомить читателя с современными представлениями и достижениями в области микро- и наноиндустрии.
Электронная Книга «Элионная технология в микро- и наноиндустрии» написана автором Аскер Кушхов в 2008 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Аскер Кушхов
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
