Тема тонких пленок является областью растущего значения в материаловедении, электротехнике и прикладной физике твердого тела. Эта тема имеет как научное, так и промышленное применение в микроэлектронике, компьютерном производстве и физических устройствах. Передовые высокопроизводительные компьютеры, телевидение высокой четкости, широкополосные системы визуализации, плоскопанельные дисплеи, робототехнические системы и медицинская электроника и диагностика – вот лишь некоторые примеры миниатюрных технологий устройств, которые зависят от использования тонкопленочных материалов. Эта книга представляет подробный обзор новейших разработок, сделанных ведущими учеными в области современных диэлектрических пленок для передовых микроэлектронных применений. Она содержит четкие и лаконичные объяснения материаловедения диэлектрических пленок и их проблем для работы устройств, включая пленки с высокой, низкой и средней диэлектрической проницаемостью, а также особенности и требования к диэлектрическим пленкам, используемым в технологии упаковки. Охвачен широкий круг связанных тем – от физических принципов до проектирования, изготовления, характеризации и применения новых диэлектрических пленок.
Topic of thin films finds place in area of materials science with scientific interests in electricity technology and reinforced solid state science. work is focused on new, outstanding computers, definition TV, broad internet protocols for imaging applications, passive panel displays, robotics and telecommunication technology, and biomedical application and diagnosis.
Электронная Книга «Dielectric Films for Advanced Microelectronics» написана автором Martin Green в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9780470065419
Описание книги от Martin Green
The topic of thin films is an area of increasing importance in materials science, electrical engineering and applied solid state physics; with both research and industrial applications in microelectronics, computer manufacturing, and physical devices. Advanced, high-performance computers, high-definition TV, broadband imaging systems, flat-panel displays, robotic systems, and medical electronics and diagnostics are a few examples of the miniaturized device technologies that depend on the utilization of thin film materials. This book presents an in-depth overview of the novel developments made by the scientific leaders in the area of modern dielectric films for advanced microelectronic applications. It contains clear, concise explanations of material science of dielectric films and their problem for device operation, including high-k, low-k, medium-k dielectric films and also specific features and requirements for dielectric films used in the packaging technology. A broad range of related topics are covered, from physical principles to design, fabrication, characterization, and applications of novel dielectric films.
