Книга "Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе" представляет собой анализ современного состояния и перспектив развития вакуумной микро- и наноэлектроники. В книге описываются физико-химические принципы создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на основе нанопористого анодного оксида алюминия. В ней представлены результаты исследований геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик таких наноструктур. Также описана новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. В книге приводятся физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов, а также экспериментальные и расчетные характеристики. Книга рассчитана на научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
Книга "Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе" представляет собой анализ современного состояния и перспектив развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Основное внимание уделено изучению физико-химических основ создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на основе нанопористого анодного оксида алюминия. В книге представлены результаты исследований их геометрических параметров, состава и эмиссионных характеристик. Также описана интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их соединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. В книге рассматриваются физические основы процесса моделирования и расчета характеристик этих микроприборов, а также приводятся экспериментальные и расчетные данные. Она предназначена для научных и инженерно-технических специалистов, аспирантов и студентов старших курсов, которые специализируются в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
Электронная Книга «Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе» написана автором Николай Татаренко в 2006 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 5-9221-0695-3
Описание книги от Николай Татаренко
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
