Книга "Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы)" содержит методические указания и описание лабораторных работ по курсу "Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники". В ней представлены лабораторные работы, использующие электрические, оптические, рентгеновские и электронно-микроскопические методы контроля свойств материалов и структур, применяемых в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники. Книга предназначена для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть полезна для аспирантов с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научных работников и инженеров базовых предприятий.
Электронная Книга «Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы)» написана автором Ю. В. Колковский в 2017 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-5-94836-471-1
Описание книги от Ю. В. Колковский
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
