Книга "Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев" посвящена изучению принципов расчета режимов термического окисления и диффузии, необходимых для создания маскирующей оксидной пленки заданной толщины и формирования легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. В книге описывается методика расчетов с применением программы Math Cad 2001. Практикум предназначен для специалистов в области электронной техники и студентов, изучающих соответствующие курсы.
Электронная Книга «Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев» написана автором Владимир Астахов в 2007 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Владимир Астахов
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
