Книга "Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел" посвящена изучению физических процессов, которые сопровождают взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. В ней подробно рассматриваются вопросы определения пробега ионов в твердых телах и их распределения. Особое внимание уделяется процессам обратного рассеяния ионов, ионной имплантации и распыления твердых тел при ионной бомбардировке. Книга также подробно описывает процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и исследование структуры поверхностных слоев монокристаллов с использованием этого явления. Этот материал представляет интерес для исследователей и специалистов, работающих в области физики и ионно-лучевой технологии.
Рассматриваются физические процессы, которые сопровождают взаимодействие ионного потоков с твердыми веществами. Исследуются задачи определения перемещения ионов в твёрдых материалах и их распределения. Широко обсуждаются процессы обратного отражения ионов, имплантации ионов, распыление твёрдых веществ под воздействием ионной атаки. Досконально описываются процесс каналирования ионов через монокристаллы и применение этой методики к анализу атомной структуры внешних слоев монокристальных твёрдых тел.
Электронная Книга «Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел» написана автором Анатолий Вяткин в 2001 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Анатолий Вяткин
В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов.
