Изготовление МЭМС в основном достигалось путем травления поликремниевого материала. Однако в настоящее время возник большой спрос на новые материалы, которые могли бы преодолеть препятствия в процессе изготовления или производства. Хотя в этой области был достигнут огромный прогресс, большая часть информации считается конфиденциальной или привилегированной. Крайне сложно найти содержательную информацию о новых или связанных с этим разработках. Эта книга представляет собой сборник глав, написанных экспертами в области технологий МЭМС и НЭМС. Главы посвящены разработке новых материалов для МЭМС и НЭМС, а также свойствам этих устройств. Такие важные свойства, как остаточные напряжения и прогиб в устройствах, рассматриваются в отдельных главах. В главах представлены различные модели, изучающие режим и механизм отказа МЭМС и НЭМС. Эта книга предназначена для аспирантов, научных сотрудников и инженеров, которые занимаются исследованиями и разработками передовых МЭМС и НЭМС для широкого спектра применений. Для читателей приведена критически важная информация, которая поможет им получить точный контроль над размерной стабильностью, качеством, надежностью, производительностью и обслуживанием МЭМС и НЭМС. На рынке нет других книг, которые описывали бы разработки и отказы в этих передовых устройствах.
Электронная Книга «Materials and Failures in MEMS and NEMS» написана автором Группа авторов в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9781119083870
Описание книги от Группа авторов
The fabrication of MEMS has been predominately achieved by etching the polysilicon material. However, new materials are in large demands that could overcome the hurdles in fabrication or manufacturing process. Although, an enormous amount of work being accomplished in the area, most of the information is treated as confidential or privileged. It is extremely hard to find the meaningful information for the new or related developments. This book is collection of chapters written by experts in MEMS and NEMS technology. Chapters are contributed on the development of new MEMS and NEMS materials as well as on the properties of these devices. Important properties such as residual stresses and buckling behavior in the devices are discussed as separate chapters. Various models have been included in the chapters that studies the mode and mechanism of failure of the MEMS and NEMS. This book is meant for the graduate students, research scholars and engineers who are involved in the research and developments of advanced MEMS and NEMS for a wide variety of applications. Critical information has been included for the readers that will help them in gaining precise control over dimensional stability, quality, reliability, productivity and maintenance in MEMS and NEMS. No such book is available in the market that addresses the developments and failures in these advanced devices.
