Книга Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение содержит описание устройства, принципов работы и основных характеристик магнетронных распылительных систем (МРС). В книге рассматриваются физические процессы и особенности работы МРС, а также перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Приводится пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Книга предназначена для студентов старших курсов, обучающихся по специальности Плазменные энергетические установки, а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
В книге “Магнетронные распылительные системы” автор Дмитрий Духопельников рассказывает о принципах работы и устройстве этих систем. Рассматриваются физические процессы, основные характеристики, конструктивные схемы и типы МРС. Приводится пример конструкции МРС с использованием электромагнитной системы и ее особенности.
Книга предназначена для студентов старших курсов и аспирантов, а также инженеров, занимающихся разработками и конструированием магнетронного оборудования. Она поможет им лучше понимать принципы работы магнетронной техники и использовать ее в своих проектах.
В учебном пособии рассматриваются принципы проектирования, устройство и физические процессы, происходящие в магнетронно-распылительных системах. Рассмотрены основные элементы, из которых состоят эти системы, и их свойства, а также принцип работы. Даны конкретные примеры МРС различной конструкции.
Электронная Книга «Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение» написана автором Дмитрий Духопельников в 2014 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-5-7038-3798-6
Описание книги от Дмитрий Духопельников
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
