"Литография" - это техническое руководство по производству микро- и нанокомпонентов с использованием сложного инструментария, находящегося в центре технологического процесса. Литография является многопрофильной технологией, которая продолжает расширять границы оптики, химии, механики, микро- и нано-жидкостей и т.д. Эта книга охватывает основные технологии и процессы, применяемые преимущественно в промышленном производстве микропроцессоров и других электронных компонентов.
Электронная Книга «Lithography» написана автором Stefan Landis в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9781118621233
Описание книги от Stefan Landis
Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.