Введение в микрофабрику – это ключевая технология для создания интегральных схем, микродатчиков, фотонных кристаллов, струйных принтеров, солнечных батарей и плоских панелей. Микросистемы могут быть сложными, но основные микроструктуры и процессы микрофабрикации довольно просты. Введение в микрообработку показывает, как общие концепции микрообработки могут быть применены многократно для создания устройств с широким разнообразием структур и функций. Особенности: * Всеобъемлющее представление основных процессов изготовления * Акцент на материалах и микроструктурах, а не на физике устройств * Глубокое обсуждение интеграции процессов, показывающее, как процессы, материалы и устройства взаимодействуют * Богатый набор примеров как концептуальных, так и реальных устройств Введение в микротехнологию включает в себя 250 домашних заданий для студентов, чтобы ознакомиться с материалами микромасштаба, размерами, измерениями, затратами и тенденциями масштабирования. Рассматриваются как исследовательские, так и производственные темы с упором на кремний, который является рабочей лошадкой
Книга: Введение в микрообработку, Автор: Сами Франссила
Микрообработка – это основная технология, используемая при создании интегральных схем, микросенсоров, фотонных кристаллов, струйных принтеров, солнечных элементов и плоских дисплеев. Микросистемы могут быть сложными, но основные микроструктуры и процессы микрообработки довольно просты. "Введение в микрообработку" показывает, как общие концепции микрообработки можно применять снова и снова для создания устройств с самыми разнообразными структурами и функциями.
В книге: • Обширное представление основных процессов изготовления; • Акцент на материалы и микроструктуру, а не физику устройства; • Глубокое обсуждение интеграции процессов, показывая, как процессы, материалы и устройства взаимодействуют друг с другом; • Разнообразие примеров – от концептуальных до реальных устройств. «Введение в микротехнологию» содержит 250 домашних работ для студентов, чтобы познакомить их с материалами, размерами, измерениями на микроуровне, стоимостью и тенденциями масштабирования. В книге рассматривается как исследовательская, так и производственная тема с акцентом на кремний, который является рабочей лошадкой микротехнологии. Эта книга будет служить превосходным первым текстом для инженеров-электриков, химиков, физиков и ученых в области материалов, которые желают узнать о микроструктурах и методах микрообработки, будь то в области МЭМС, микроэлектроники или новых направлений применения.
Электронная Книга «Introduction to Microfabrication» написана автором Sami Franssila в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9780470020562
Описание книги от Sami Franssila
Microfabrication is the key technology behind integrated circuits, microsensors, photonic crystals, ink jet printers, solar cells and flat panel displays. Microsystems can be complex, but the basic microstructures and processes of microfabrication are fairly simple. Introduction to Microfabrication shows how the common microfabrication concepts can be applied over and over again to create devices with a wide variety of structures and functions. Featuring: * A comprehensive presentation of basic fabrication processes * An emphasis on materials and microstructures, rather than device physics * In-depth discussion on process integration showing how processes, materials and devices interact * A wealth of examples of both conceptual and real devices Introduction to Microfabrication includes 250 homework problems for students to familiarise themselves with micro-scale materials, dimensions, measurements, costs and scaling trends. Both research and manufacturing topics are covered, with an emphasis on silicon, which is the workhorse of microfabrication. This book will serve as an excellent first text for electrical engineers, chemists, physicists and materials scientists who wish to learn about microstructures and microfabrication techniques, whether in MEMS, microelectronics or emerging applications.
