Эта книга является сборником научных исследований по разработке инновационных технологий и субмикронного оборудования. Она представляет собой краткое изложение важнейших достижений в этой области для тех, кто хочет углубиться в современную микроэлектронику.
В этой книге собраны материалы по исследованию структуры полупроводниковых материалов, а также рассмотрены важные аспекты производства полупроводников. Книга также обсуждает современные методы диагностики субмикрометровых структур.
Издание предназначено для инженеров, технических специалистов и исследователей, работающих в области микроэлектроникии других отраслях промышленности. Эта работа будет полезна студентам старших курсов и специалистам в области научного исследования.
В книге собраны результаты научных исследований и конструкторских работ по созданию инновационных установок и технологий для получения наногетероструктур в полупроводниковой электронике. Работа является коллективной, и написана исследовательскими группами МИЭТ и НИЯУ МИФИ. Предназначена для работников электронной промышленности, аспирантов и студентов технических вузов, специализирующихся в области радиотехники, наноэлектроники и вычислительной техники.
Книга содержит описание инновационных методов исследования и производства микроэлектронных устройств с размерами элементов менее одного микрона. Знакома она будет только техникам-электрикам и технологам, работающим в традиционных отраслях промышленности и научных центрах.
Электронная Книга «Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники» написана автором Коллектив авторов в 2020 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-985-08-2521-6
Описание книги от Коллектив авторов
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
