Книга "Transmission Electron Microscopy in Micro-nanoelectronics" описывает новые количественные техники, основанные на методе трансмиссионной электронной микроскопии (TEM), которые были разработаны для решения сложных задач в области разработки и оптимизации полупроводниковых слоев и устройств. Сегодня доступность ярких и высококогерентных источников электронов и чувствительных детекторов радикально изменила тип и качество информации, которую можно получить с помощью TEM. Книга представляет эти новые техники простым и практическим способом. Многие из этих техник основаны на электронной голографии, другие используют возможность фокусировки интенсивных пучков в наносконцентраторах. Среди тем, представленных в книге, - измерения и картографирование напряжений, активация и сегрегация примесей, реакции на интерфейсах на наномасштабе, идентификация дефектов и подготовка образцов с помощью фокусированного ионного пучка (FIB). После краткого изложения теории каждая техника иллюстрируется примерами из лаборатории или фабрики. Книга будет полезна как ученым, так и инженерам, работающим в области электроники на микро- и наноуровнях, а также в промышленности.
В своей новой книге «Микроскопия электронным просвечиванием в микро- и наноэлектронике» известный специалист Алэн Клавери говорит о новых способах и методиках анализа в электронной микроскопии, которые используются сегодня как в академических лабораториях, так и в промышленных центрах и на фабриках по изготовлению полупроводников.
Эта книга знакомит читателей с актуальнейшими достижениями в электронной микроскопии. В ней авторы представляют читателю множество методов исследовательской работы в области наноразмерной электроники. Книга написана на понятном и практичном уровне, поэтому каждый исследователь сможет применять эти методики. Некоторые из них основываются на голографии электронов, одновременно с этим используются возможности фокусировки интенсивных лучей в наномасштабе. Устанавливание деформаций, составление карт деформаций, выявление дефектов и настрйка приборов при помощи локальных ионов-бомбардировщиков - лишь некоторые из освещенных в книге тем.
Электронная Книга «Transmission Electron Microscopy in Micro-nanoelectronics» написана автором Alain Claverie в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9781118579039
Описание книги от Alain Claverie
Today, the availability of bright and highly coherent electron sources and sensitive detectors has radically changed the type and quality of the information which can be obtained by transmission electron microscopy (TEM). TEMs are now present in large numbers not only in academia, but also in industrial research centers and fabs. This book presents in a simple and practical way the new quantitative techniques based on TEM which have recently been invented or developed to address most of the main challenging issues scientists and process engineers have to face to develop or optimize semiconductor layers and devices. Several of these techniques are based on electron holography; others take advantage of the possibility of focusing intense beams within nanoprobes. Strain measurements and mappings, dopant activation and segregation, interfacial reactions at the nanoscale, defect identification and specimen preparation by FIB are among the topics presented in this book. After a brief presentation of the underlying theory, each technique is illustrated through examples from the lab or fab.
