"System-level Modeling of MEMS" - это книга, посвященная интегрированным подходам к моделированию микроэлектромеханических систем (MEMS), которые позволяют симулировать, понимать и оптимизировать работу датчиков, приводов и микросистем, учитывая сложности взаимодействия механических и электрических свойств, электрических схем, упаковки и проектирования. Таким образом, системное моделирование позволяет преодолеть ограничения, связанные с методами, которые сосредоточены только на одном из этих аспектов и не учитывают их взаимных зависимостей. Книга рассматривает два наиболее важных подхода к системному моделированию: физико-основанный подход с сгруппированными элементами и математическое моделирование с использованием методов сокращения порядка модели, с акцентом на объединение моделей одного устройства в целые системы. Читатели на достаточно подробном и понятном уровне знакомятся с физическими и математическими основами моделирования MEMS, что позволяет им выбирать соответствующие методы для соответствующих приложений. Эта работа является бесценным ресурсом для всех материаловедов, электротехников, ученых, работающих в полупроводниковой и/или сенсорной промышленности, физиков и физических химиков.
System-level modelling of MEMS - microelectromechanical system - consists of integrated approaches to simulating, understanding, and optimizing the performance of sensors, actuators and microsystems while taking into account all the intricacies involved in the interplay between mechanical, electrical properties and circuitry.
This book covers two of the most important methods of system-level modelling, namely, physics-based modelling using lumped elements, and mathematical modelling using model order reduction techniques, with a focus on combining single-device models to form entire systems.
The reader is provided with a clear and detailed understanding of the physical and mathematical foundations of MEMS modelling, allowing them to choose appropriate methods for their specific application needs.
This work is a valuable resource for materials scientists, electrical engineers and anyone interested in MEMS.
Электронная Книга «System-level Modeling of MEMS» написана автором Группа авторов в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9783527647125
Описание книги от Группа авторов
System-level modeling of MEMS – microelectromechanical systems – comprises integrated approaches to simulate, understand, and optimize the performance of sensors, actuators, and microsystems, taking into account the intricacies of the interplay between mechanical and electrical properties, circuitry, packaging, and design considerations. Thereby, system-level modeling overcomes the limitations inherent to methods that focus only on one of these aspects and do not incorporate their mutual dependencies. The book addresses the two most important approaches of system-level modeling, namely physics-based modeling with lumped elements and mathematical modeling employing model order reduction methods, with an emphasis on combining single device models to entire systems. At a clearly understandable and sufficiently detailed level the readers are made familiar with the physical and mathematical underpinnings of MEMS modeling. This enables them to choose the adequate methods for the respective application needs. This work is an invaluable resource for all materials scientists, electrical engineers, scientists working in the semiconductor and/or sensor industry, physicists, and physical chemists.
