Книга "Resonant MEMS" (Резонансные МЭМС) является частью серии книг AMN и охватывает принципы, моделирование и реализацию, а также применение резонансных МЭМС с унифицированной точки зрения. Она начинается с основных уравнений и явлений, которые определяют поведение резонансных МЭМС, и затем дает подробный обзор их реализации в емкостных, пьезоэлектрических, тепловых и органических устройствах, дополненных главами, посвященными упаковке устройств и их стабильности. Последняя часть книги посвящена передовым применениям резонансных МЭМС, таким как инерционные, химические и биосенсоры, сенсоры свойств жидкости, таймеры и системы сбора энергии.
Электронная Книга «Resonant MEMS» написана автором Группа авторов в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9783527676361
Описание книги от Группа авторов
Part of the AMN book series, this book covers the principles, modeling and implementation as well as applications of resonant MEMS from a unified viewpoint. It starts out with the fundamental equations and phenomena that govern the behavior of resonant MEMS and then gives a detailed overview of their implementation in capacitive, piezoelectric, thermal and organic devices, complemented by chapters addressing the packaging of the devices and their stability. The last part of the book is devoted to the cutting-edge applications of resonant MEMS such as inertial, chemical and biosensors, fluid properties sensors, timing devices and energy harvesting systems.
