Книга "Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов" представляет собой лабораторный практикум, который охватывает теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов, а также методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Данное пособие соответствует учебному плану курса "Основы технологии электронной компонентной базы". В книге описываются методы получения тонкопленочных материалов и их контроля, что позволяет читателю более глубоко понять процессы, происходящие при создании электронных устройств.
Описаны в различной последовательности технологические этапы получения тонкоплёночных структур, такие как предварительная обработка материалов, эпитаксиальное наращивание слоёв, ионное имплантирование, осаждение неорганических и органических покрытий, формирование диэлектрических, проводящих и полупроводниковых структур. Особое внимание уделено вопросу воспроизводимости технологического процесса. Для обучения студентов в соответствии с Государственным образовательным стандартом по специальности «Технологический факультет электронных компонентов» и «Учебным планом материалов наноэлектроники».
Электронная Книга «Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов» написана автором Дмитрий Крутогин в 2013 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Дмитрий Крутогин
В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы».
