Книга "Ионно-плазменная обработка материалов" описывает основные процессы ионно-плазменной технологии в микро- и наноэлектронике. В книге приводится классификация методов травления и осаждения тонких пленок материалов, используемых в электронной технике и гетероструктурах. Также рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов в различных вакуум-плазменных процессах. В книге обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Книга также содержит примеры применения ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.
Электронная Книга «Ионно-плазменная обработка материалов» написана автором Аскер Кушхов в 2008 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Аскер Кушхов
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.
