Книга “Fundamental Principles of Optical Lithography” автора Криса Мака посвящена созданию интегральных схем, которые требуют выполнения множества физических и химических процессов на полупроводниковой подложке. Эти процессы можно разделить на три категории: нанесение пленок, создание рисунка и допирование полупроводника. Пленки как проводников, так и изоляторов используются для соединения и изоляции транзисторов и их компонентов. Создавая структуры этих различных компонентов, можно создать миллионы транзисторов и соединить их вместе для формирования сложной электронной схемы современных микроэлектронных устройств. Литье является основой всех этих процессов, то есть формирование трехмерных рельефных изображений на подложке для последующего переноса рисунка на подложку. Эта книга представляет собой полное теоретическое и практическое рассмотрение темы литографии как для студентов, так и для исследователей. Она состоит из десяти подробных глав плюс трех приложений с задачами, представленными в конце каждой главы. Дополнительная информация: Посетив http://www.lithoguru.com/textbook/index.html, читатель может улучшить свои знания.
Электронная Книга «Fundamental Principles of Optical Lithography» написана автором Chris Mack в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9780470723869
Описание книги от Chris Mack
The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter. Additional Information: Visiting http://www.lithoguru.com/textbook/index.html enhances the reader's understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB®, to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors.
