Это издание "CMOS-MEMS" было первоначально опубликовано в успешной серии "Передовые микро- и наносистемы". Внимание уделяется вспомогательным технологиям, первый раздел о MEMS включает введение в проблемы и преимущества трехмерной обработки кремния. Далее следует взгляд изнутри на коммерциализацию промышленных MEMS, главы о емкостных интерфейсах для MEMS, упаковке микро- и наносистем, вкладе MEMS в высокочастотные интегрированные резонаторы и фильтры, а также об использовании MEMS в хранении больших объемов данных и электрохимической визуализации с помощью сканирующих микро- и нанозондов. Во втором разделе о наноустройствах рассматриваются новые темы нанофлюидики с вкладом в моделирование инструментов и устройств и их использование, а также две главы о нанодатчиках с освещением датчиков на основе углеродных нанотрубок и матриц ДНК-сенсоров на основе КМОП.
This edition of "CMOS-MEMS" was originally published as part of the successful series "Advanced Micro & NanoSystems". We explore the enabling technologies, beginning with an exploration of the challenges and benefits of 3D Silicon Processing for MEMS. We follow in depth, the insights gained from industrial MEMS trials, prior to chapters dedicated to capacitive interfacing for MEMS devices, packaging of Micro- and Nano-systems, contributions MEMS device contribute towards high frequency Integrated Resonators and Filters, as well as the benefits derived from their adaptation in storage and use in electrochemical imaging via scanning Micro- and Nanoprobes. This holds true for the second section of the book. Here we first tackle emerging Nanofluidic technologies, featuring chapters contributed on the topics of simulation tools and devices and their uses, followed closely by di erent chapters contributing about nanosensor technology featuring Carbon Nanotube sensors and CMOS based DNA sensor arrays.
Электронная Книга «Enabling Technology for MEMS and Nanodevices» написана автором Группа авторов в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9783527675043
Описание книги от Группа авторов
This edition of 'CMOS-MEMS' was originally published in the successful series 'Advanced Micro & Nanosystems'. A close look at enabling technologies is taken, the first section on MEMS featuring an introduction to the challenges and benefi ts of three-dimensional silicon processing. An insider's view of industrial MEMS commercialization is followed by chapters on capacitive interfaces for MEMS, packaging issues of micro- and nanosystems, MEMS contributions to high frequency integrated resonators and filters, and the uses of MEMS in mass data storage and electrochemical imaging by means of scanning micro- and nanoprobes. The second section on nanodevices first tackles the emerging topic of nanofluidics with a contribution each on simulation tools and on devices and uses, followed by another two on nanosensors featuring CNT sensors and CMOS-based DNA sensor arrays, respectively.
