Книга "CMOS-MEMS" была изначально опубликована в серии "Advanced Micro & Nanosystems". В ней рассматривается сочетание глобально установленной технологии массового производства микрочипов CMOS с увлекательным и коммерчески перспективным миром MEMS. В книге читатели знакомятся с этой областью и охватывают все аспекты - от технологий изготовления и характеристик материалов до реальных приложений CMOS-MEMS - широкого спектра миниатюризированных физических, химических и биологических датчиков и RF-систем. Важные знания по интеграции схем и систем заканчивают эту углубленную работу, иллюстрируя преимущества сочетания CMOS и MEMS в первую очередь, а не имея гибридного решения.
This edition of "CMOS-MEMs" was originally published as a part of "Advanced Micro&Nanosystems" series, an authoritative stream of books and book chapters with a strong research orientation and application focus. Revealing the comprehensive relationship between the global microelectronics CMOS technology (one cubic millimeter) and the novel area of Micro-Electro Mechanical Systems (MEMS) configurations, this publication explores every aspect at hand, ranging from manufacturing processes to final chip performance tuning, from characterization to practical spherical utilization. It covers a wide spectrum of miniature sensors, RF systems and precisely illustrates the benefits of integrating CMOS and MEMs together, instead of bypassing a hybrid fix.
Эта книга первоначально вышла в свет в популярной серии "Передовые микро- и наносистемы". Здесь рассматривается объединяющий повсеместно широко распространенную в производственных масштабах миллиардную технологию изготовления микросхем CMOS с актуальной и многообещающей новой областью исследований MEMS со всех точек зрения. В книге вниманию читателя предлагается это направление исследований и проводятся от технологических вариантов до приложений в области производства - широкий спектр миниатюрных сенсорных систем в физике, химии и биологии, а также RF-систем. Наконец, законченный капитальный труд завершается сведениями о весьма важных аспектах интеграции схем и систем, показывая преимущества объединения методов CMOS и MEMS по сравнению с альтернативными решениями.
Электронная Книга «CMOS - MEMS» написана автором Группа авторов в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9783527675067
Описание книги от Группа авторов
This edition of 'CMOS-MEMS' was originally published in the successful series 'Advanced Micro & Nanosystems'. Here, the combination of the globally established, billion dollar chip mass fabrication technology CMOS with the fascinating and commercially promising new world of MEMS is covered from all angles. The book introduces readers to this fi eld and takes them from fabrication technologies and material charaterization aspects to the actual applications of CMOS-MEMS – a wide range of miniaturized physical, chemical and biological sensors and RF systems. Vital knowledge on circuit and system integration issues concludes this in-depth treatise, illustrating the advantages of combining CMOS and MEMS in the first place, rather than having a hybrid solution.
