Книга "Химические технологии в производстве микрометрических систем" авторства Ю.А. Родионова посвящена изучению основных положений общей и физической химической технологий в процессе производства интегральных печатных плат и микроэлектромеханических систем (МЭМС).
В центре внимания данной книги находятся химические процессы в массовом выпуске мини-нанок
Подробно изложены вопросы химии в технологиях изготовления интегральных схем и МЭМС-устройств. Особое внимание уделено рассмотрению химических процессов при серийном изготовлении микро- и наносистемных компонентов, используемым материалам, оборудованию и технологическим методам, применяемым в этих процессах. Приведены конкретные технологические методы химической обработки и нанесения микро-и субмикронных слоев, технология поверхностного монтажа, изготовления внешних контактных устройств, а также технологических процессов, используемых при ремонте и контролировании качества МЭМС. Рассматривается междисциплинарная интеграция химических технологий с микроэлектротехникой, лазерной техникой и материаловедением.
#учебники и пособия для вузов
#общая химия
#физическая химия
#электроника
