Книга "Практическое руководство по оптической метрологии тонких пленок" - это компактное руководство, которое поможет определить и измерить толщину тонких пленок оптическими методами. В этой практической книге рассматриваются законы электромагнитного излучения и взаимодействия света с материей, а также теория и практика измерения толщины и современные приложения. Кроме того, она показывает возможности и преимущества определения толщины оптическими методами, обсуждает преимущества и недостатки измерительных устройств, а также методы их оценки. После введения в тему, вторая глава представляет основы распространения света и другого электромагнитного излучения в пространстве и веществе. Основная тема книги - определение толщины слоя в стопке слоев путем измерения спектральной отражательной или пропускной способности - рассматривается в следующих трех главах. Цвет тонких слоев обсуждается в главе 6. Наконец, в главе 7 автор обсуждает несколько промышленных приложений измерения толщины слоя, включая высокоотражающие и антиотражательные покрытия, фотолитографическую структуризацию полупроводников, кремний на изоляторе, прозрачные проводящие пленки, оксиды и полимеры, тонкопленочные фотоэлектрические устройства и сильно легированный кремний. Книга предназначена для промышленных и научных исследователей, инженеров, разработчиков и производителей, занимающихся всеми областями оптического измерения и метрологии слоев и тонких оптических пленок, контроля процессов, мониторинга в режиме реального времени и применений.
Издание представляет собой на доступное изложение способов определения и измерения толщины напоказ оптических методов. В книге рассматриваются законы электромагнитного излучения и взаимодействия света с веществом, теория и практика измерений и современные применения методов.
Электронная Книга «A Practical Guide to Optical Metrology for Thin Films» написана автором Michael Quinten в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9783527664375
Описание книги от Michael Quinten
A one-stop, concise guide on determining and measuring thin film thickness by optical methods. This practical book covers the laws of electromagnetic radiation and interaction of light with matter, as well as the theory and practice of thickness measurement, and modern applications. In so doing, it shows the capabilities and opportunities of optical thickness determination and discusses the strengths and weaknesses of measurement devices along with their evaluation methods. Following an introduction to the topic, Chapter 2 presents the basics of the propagation of light and other electromagnetic radiation in space and matter. The main topic of this book, the determination of the thickness of a layer in a layer stack by measuring the spectral reflectance or transmittance, is treated in the following three chapters. The color of thin layers is discussed in chapter 6. Finally, in chapter 7, the author discusses several industrial applications of the layer thickness measurement, including high-reflection and anti-reflection coatings, photolithographic structuring of semiconductors, silicon on insulator, transparent conductive films, oxides and polymers, thin film photovoltaics, and heavily doped silicon. Aimed at industrial and academic researchers, engineers, developers and manufacturers involved in all areas of optical layer and thin optical film measurement and metrology, process control, real-time monitoring, and applications.
