В книге Игоря Житяева “Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения” рассматриваются особенности обработки материалов и полупроводниковых структур с помощью лазерных и некогерентных источников излучения.
В пособии представлена информация по используемому оборудованию, видам источников излучения и их применению для контроля технологических процессов, а также для получения графеновых пленок и изготовления суперконденсаторов и матричных острийных структур.
Пособие может быть полезно для подготовки магистров по специальностям “Нанотехнологии и микросистемная техника”, “Конструирование и технологии электронных средств” и “Электроника и наноэлектроника” в курсе “Лучевые процессы в нанотехнологии”.
Учебное пособие посвящено методам обработки материалов и полупроводника с использованием лазерного и некогеренционного излучения. Пособие включает информацию об используемом оборудовании, видах излучения и их применении для контроля техпроцессов при производстве микроструктур и иных технологичных операциях.
Описание: В книге разобраны процессы обработки материалов/полупроводников лассовыми и некофиденциальными излучателями энергии, описывается используемое при этом оборудование, типы источников энергии, их использование для контроля технологического потока производства микрочастиц, производства графеновых слоев, создания суперконденсаций, точечных структур с отверстиями, гидрофобных/гидрофильных типов поверхности.
#учебники и пособия для вузов
