Физические основы кремниевой наноэлектроники (Г. И. Зебрев). 2020г.

Книга «Физические основы кремниевой наноэлектроники» посвящена рассмотрению ключевых физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Книга предназначена для преподавателей и студентов, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Она может быть использована в учебном процессе при подготовке курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур». В книге подробно рассматриваются физические явления, лежащие в основе работы кремниевых наноэлектронных приборов, анализируются современные тенденции миниатюризации электронных схем и даются практические рекомендации по моделированию и проектированию перспективных наноэлектронных структур на основе кремния.

Книга "Физические основы кремниевой наноэлектроники" посвящена детальному описанию фундаментальных физических принципов, лежащих в основе современной кремниевой наноэлектроники. В книге рассматриваются ключевые наноструктуры и наноустройства, применяемые в высокотехнологичных чипах с технологическими нормами менее 100 нм. Подробно анализируются методы моделирования и проектирования интегральных схем с использованием наноразмерных элементов. Особое внимание уделено перспективным направлениям развития кремниевой наноэлектроники.

Книга предназначена для студентов, аспирантов и преподавателей технических вузов, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники. Она может использоваться при чтении курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур" и других специализированных дисциплин. Книга дает фундаментальные знания, необходимые для понимания принципов построения современной наноэлектроники на основе кремния.