В книге "Физические основы вакуумной техники" рассматриваются принципы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров. Особое внимание уделяется физическим процессам, лежащим в основе создания вакуума различного уровня - от низкого до сверхвысокого. Детально разбираются методы построения эффективных откачных систем.
Для закрепления теоретического материала в пособии предлагаются практические занятия по работе с вакуумным оборудованием. Книга ориентирована в первую очередь на студентов, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника". Однако она может быть полезна и практикующим специалистам, эксплуатирующим вакуумные установки в технологических процессах. Издание позволяет получить базовые знания по физическим принципам вакуумной техники и практические навыки работы с ней.
#учебники и пособия для вузов
