Учебник "Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы" представляет собой исчерпывающее руководство по физическим принципам, определяющим технологические процессы производства интегральных схем для радиоэлектронной аппаратуры. В книге подробно рассматриваются различные технологические процессы, такие как получение кремниевых пластин, их оксидирование, диффузия, ионное легирование, литография, сухое травление, сборка и герметизация готовых микроприборов. Кроме того, книга описывает процессы формирования тонких пленок с использованием различных технологических методов, а также предоставляет информацию о схемах технологического оборудования и оснастки.
Данный учебник предназначен для студентов, обучающихся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Конструирование и технология радиоэлектронных средств" и "Микроэлектроника". Он может быть полезен для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Данная книга охватывает множество физических принципов, которые определяют технологические процессы производства интегральных схем для радиоэлектронной аппаратуры. В ней рассматриваются такие процессы, как получение кремниевых пластин, их оксидирование, диффузия, ионное легирование, литография, сухое травление, сборка и герметизация готовых микроприборов. Также в книге рассматриваются процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Книга содержит информацию о основных схемах технологического оборудования и оснастки. Она предназначена для студентов бакалавриата и магистратуры, изучающих специальности "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Конструирование и технология радиоэлектронных стредств" и "Микроэлектроника", но может быть полезной и для студентов других специальностей, а также для специалистов в области радиотехники.
В учебнике изложены физические принципы, лежащие в основе технологических процессов изготовления ИС РЭА. Рассмотрены этапы получения кремниевой пластины и формирование кристаллической структуры кремния, описанные методы диффузионной и литографической технологий, оборудование, используемое на различных этапах производства ИС. Приведена технология получения тонкопленочных структур на поверхности силицидных подложек. Рассматривается взаимодействие различных веществ с поверхностями кристаллов кремния и способами его регулирования в процессе технологических операций.
#учебники и пособия для вузов
#радиотехника
