Книга "Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники" является обобщением результатов исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов для производства изделий электроники. Она охватывает широкий спектр технологий, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком и СВЧ-плазмохимической обработки, до магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Книга предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Описаны и обобщены исследования по созданию и работе станций современных корпусов интегрирования производственных процессов электронных устройств, включающих технологию очищения основания, субмиллиметрового волнового плазмохимического воздействия, формирования магнетроном и лучом электронной и импульсной микроструктуры и их толщины используя высокочастотный локальный нагрев, метод диффузной сварки и интегрированный контроль микронных и наномух структур.
#учебники и пособия для вузов
#электроника
