Учебное пособие "Основы математического моделирования" охватывает основные математические модели, используемые в технологических процессах полупроводниковой электроники, такие как диффузия, ионная имплантация, термическое окисление и импульсный отжиг. Книга описывает методы решения основных уравнений и способы проведения процесса моделирования, необходимые для разработки топологии современных структур микро- и наноэлектроники. В пособии также приводится информация о широко используемых физических моделях технологических процессов электроники, их возможностях и ограничениях. Особое внимание уделено параметрам математических моделей, которые позволяют получать реалистичные результаты моделирования, соответствующие экспериментальным данным. Книга предназначена для студентов, изучающих методы математического моделирования технологических процессов в микроэлектронике, а также для изучения современных моделей процессов электроники. Пособие поможет студентам лучше усвоить лекционный материал, подготовиться к практическим занятиям, выполнить домашние задания и курсовые работы. Книга рекомендуется для студентов бакалавриата, обучающихся по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника".
В книге “Основы математического моделирования” автор С.Ю. Юрчук описывает основные математические модели технологических процессов в полупроводниковой электронике. Книга содержит информацию о диффузии, имплантации ионов, термическом окислении и импульсном отжиге, а также методики решения уравнений и способы моделирования этих процессов.
В пособии представлены широко используемые физические модели технологических процессов, их возможности и ограничения. Особое внимание уделяется описанию параметров математических моделей и их реалистичности. Результаты моделирования хорошо совпадают с экспериментальными данными.
Книга предназначена для студентов, изучающих методы математического моделирования технологических процессов и изучение современных моделей процессов в электронике. Пособие поможет студентам лучше понять лекционный материал и подготовиться к практическим занятиям, а также поможет в выполнении домашних заданий.
Пособие предназначено для бакалавров по направлению “Электроника и наноэлектроника”.
Электронная Книга «Основы математического моделирования» написана автором С. Ю. Юрчук в 2014 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от С. Ю. Юрчук
В учебном пособии описаны основные математические модели современных технологических процессов полупроводниковой электроники: диффузии, ионной имплантации, термического окисления и импульсного отжига. Представлены методики решения основных уравнений и способы проведения процесса моделирования с целью разработки топологии современных структур микро- и наноэлектроники. Дана информация о широко используемых в настоящее время физических моделях технологических процессов электроники, их возможностях и ограничениях. Большое внимание уделено описанию параметров математических моделей, позволяющих получать реалистичные результаты моделирования, хорошо совпадающие с экспериментальными. Учебное пособие предназначено для освоения студентами методов математического моделирования основных технологических процессов изготовления микроэлектронных полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также изучения современных моделей процессов электроники. Пособие позволит студентам более глубоко усвоить лекционный материал при подготовке к практическим занятиям и окажет помощь при выполнении домашних заданий и курсовых работ. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
