В книге “Лазеры в микро и наноэлектронике” автор А.В. Палий рассматривает основы лазерных технологий и их применение в микро- и наноэлектронике, а также физические параметры лазерного излучения. Учебное пособие предназначено для магистров и специалистов в области лазерной технологии, а также может быть полезно для студентов, изучающих микро- и нанотехнологию. В книге рассматриваются характеристики и параметры различных типов лазерного излучения, а также особенности лазерных технологических процессов. Пособие содержит информацию о физических основах лазерной технологии и ее применении в микроэлектронике.
В учебном пособии обобщены сведения в области лазеров, применяемых при разработке новых материалов и приборов, оптическом контроле их качества, при управлении производственными процессами микро-- и нанотехнологии важнейших секторов экономики - электронике, информационных технологиях, фотонике и космической технике.
Электронная Книга «Лазеры в микро- и наноэлектронике» написана автором А. В. Палий в 2018 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-5-9275-3083-0
Описание книги от А. В. Палий
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
