Книга "Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий" представляет собой пособие, которое охватывает теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса "Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий".
В учебном пособии рассматриваются теоретические основы и практические методы производства полупроводниковых структур и приборов, используемых в опто- и микроэлектронике. Пособие предназначено для студентов электротехнических специальностей, будет полезно также инженерам и научным работникам, работающим в области прикладной физики и технологий микро и наносистемной техники.
Электронная Книга «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий» написана автором Дмитрий Крутогин в 2015 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
Описание книги от Дмитрий Крутогин
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
