В книге "Физические основы вакуумной техники" рассматриваются принципы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров. Особое внимание уделяется физическим процессам, лежащим в основе создания вакуума различного уровня - от низкого до сверхвысокого. Детально разбираются методы построения эффективных откачных систем.
Для закрепления теоретического материала в пособии предлагаются практические занятия по работе с вакуумным оборудованием. Книга ориентирована в первую очередь на студентов, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника". Однако она может быть полезна и практикующим специалистам, эксплуатирующим вакуумные установки в технологических процессах. Издание позволяет получить базовые знания по физическим принципам вакуумной техники и практические навыки работы с ней.
Электронная Книга «Физические основы вакуумной техники» написана автором Александр Василевский в 2014 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-5-7782-2424-7
Описание книги от Александр Василевский
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
