Книга "Руководство пользователя по вакуумной технологии" (A User's Guide to Vacuum Technology) была издана в третий раз спустя 15 лет после выхода второго издания. За это время произошло много важных изменений в области вакуумной технологии, включая появление спиннинг-роторных манометров, сухих механических насосов, турбомолекулярных насосов на магнитной подвеске и ультрачистых систем. Благодаря этому, улучшенным методам очистки и сборки стало возможным создание производства без загрязнений. Книга направлена на заполнение пробелов в знаниях и обучении между разработчиками и конечными пользователями вакуумного оборудования. Она предлагает практическую перспективу современной вакуумной технологии, с акцентом на эксплуатации, понимании и выборе оборудования для промышленных процессов, используемых в полупроводниковой, оптической, упаковочной и смежных технологиях нанесения покрытий. Книга предоставляет детальное описание этой важной области, подчеркивая основы и затрагивая значимые темы, которые недостаточно освещены в других источниках, избегая тем, которые не являются релевантными для типичного пользователя.
Электронная Книга «A User's Guide to Vacuum Technology» написана автором Группа авторов в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9780471467151
Описание книги от Группа авторов
In the decade and a half since the publication of the Second Edition of A User?s Guide to Vacuum Technology there have been many important advances in the field, including spinning rotor gauges, dry mechanical pumps, magnetically levitated turbo pumps, and ultraclean system designs. These, along with improved cleaning and assembly techniques have made contamination-free manufacturing a reality. Designed to bridge the gap in both knowledge and training between designers and end users of vacuum equipment, the Third Edition offers a practical perspective on today?s vacuum technology. With a focus on the operation, understanding, and selection of equipment for industrial processes used in semiconductor, optics, packaging, and related coating technologies, A User?s Guide to Vacuum Technology, Third Edition provides a detailed treatment of this important field. While emphasizing the fundamentals and touching on significant topics not adequately covered elsewhere, the text avoids topics not relevant to the typical user.
