Книга “Технологические процессы в микро и наноэлектронике” Юрия Александровича Родионова посвящена физике твердого тела и физической химии, а также технологии получения слоев с заданными характеристиками. В книге рассматриваются основные положения, оборудование и оснастка, необходимые для создания технологического слоя, а также конкретные примеры решения задач по определению режимов получения слоев. Особое внимание уделяется экологическим проблемам в промышленных технологиях и регламентным работам в промышленном производстве. Книга будет полезна студентам, обучающимся по специальности “Электроника, радиотехника и связь”, а также инженерам, занимающимся проектированием и обслуживанием электронных устройств.
В данном учебнике рассмотрены физические основы передовых технологий микро- и наносистемной электроники, электроники гетеропереходных приборов, анализа твёрдых тел, электронной оптики, плазменных и ионно-лучевых технологий. Особое внимание уделяется применению передового оборудования и технологической оснастки, достигаемым параметрам структурных слоев и слоев с заданным качеством. Приведены конкретные примеры технологических процессов, рассмотрены законные и этические аспекты современной профессиональной деятельности. Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Для студентов, обучающихся на направлениях подготовки "Электроника, радио техника и системы связи", а также для инженеров, научных работников, занимающихся исследованиями и производством электронных компонентов.
Электронная Книга «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике» написана автором Ю. А. Родионов в 2019 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-5-9729-0337-5
Описание книги от Ю. А. Родионов
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
