Книга "Основы микросенсорики" посвящена рассмотрению основных твердотельных датчиков, применяемых преимущественно в высокотехнологичных областях - точной механике и оптике, микро- и наноэлектронике, атомной энергетике, военном деле.
В книге подробно описаны датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры, теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения. Отдельное внимание уделено актюаторам и сенсорам вакуумно-плазменных технологий, обеспечивающим высокое качество продукции при изготовлении перечисленных датчиков.
Книга предназначена для студентов, обучающихся по специальности "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
#учебники и пособия для вузов
#радиотехника
#электроника
