Книга "Технология тонких пленок для микро-и наноэлектроники" под авторством В.Ю. Васильева посвящена изучению методологии и технологий создания неорганических тонких пленок, используемых в технологических процессах микро- и nano-электроники.
Автор отмечает важность этой технологии в различных технологических процедурах изготовления электронных компонентов, рассматривает как особенности создания высококачественных тонких пленок микроэлектроник, так и их свойства. Книга позволяет проанализировать современные тенденции развития технологий для производства изделий на микроуровне.
Представленная информация поможет пользователям узнать об основах создания тонких подложек и методиках, которые необходимы для получения слоёв. Издание идеально подходит для инженерно-технических работников из сферы разработки приборов, функционирующих на основе микрочипов, а также студентам специализирующимся в этой отрасли.
Электронная Книга «Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники» написана автором В. Ю. Васильев в 2019 году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Русский
ISBN: 978-5-7782-3915-9
Описание книги от В. Ю. Васильев
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
