Практикум посвящен выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления. В нем изложены основы теории данного метода, описана необходимая аппаратура и методики напыления и анализа полученных пленок.
Цель практикума - научить студентов теоретическим знаниям и практическим навыкам по получению монокристаллических пленок с помощью магнетронного распыления. В процессе выполнения лабораторных работ студенты изучают теорию роста кристаллических пленок магнетронным методом, осваивают подбор материалов и подложек, учатся работать на установке магнетронного напыления, выращивать пленки и анализировать их структуру и свойства.
Практикум предназначен для студентов-магистров по направлению "Материаловедение и технология материалов" по программе "Кристаллы квантовой и оптической электроники". Он позволяет получить теоретическую базу и практические навыки по методу выращивания кристаллических пленок магнетронным напылением.
Книга предназначена для преподавания в университете студентам специальностей, которые связаны с наукоемким производством. Она позволит студентам не только быть подготовленными к выполнению исследовательской работы, но и самостоятельно проводить исследования в лабораторных условиях.
#учебники и пособия для вузов
#материаловедение
#электроника
#практикумы
