Книга Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники описывает основные процессы производства элементов микросистемной техники, рассматривая их с точки зрения физических явлений. В книге обобщены результаты исследований, проводимых при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и других технологических процессах. Книга рекомендована для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс Микросистемная техника.
Книга Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники является ценным ресурсом для всех, кто интересуется производством элементов микросистемной техники. Авторы подробно рассматривают основные технологические процессы, используемые в этой области, и обобщают результаты последних исследований. Книга описывает важные методы производства элементов микросистемной техники, включая выращивание монокристаллов, диффузию, имплантацию, литографию и многое другое. Эта книга является полезным ресурсом для студентов, ученых и практиков, которые хотят расширить свои знания в области микросистемной техники и нанотехнологий.
#учебники и пособия для вузов
#приборостроение
#электроника
