Книга "Физическая химия полупроводниковых материалов и процессов" посвящена развитию твердотельных устройств, которое началось немного более столетия назад с открытия электропроводности ионных твердых веществ. Сегодня технологии твердотельных устройств являются основой современного общества. Цель этой книги тройная: представить основы физической химии, на которых основана технология полупроводниковых устройств; во-вторых, описать конкретные вопросы, такие как роль дефектов в свойствах твердых веществ и важное влияние поверхностных свойств; наконец, рассмотреть физику и химию процессов роста полупроводников как в объеме, так и на уровне тонких пленок, включая некоторые аспекты, связанные с свойствами наноустройств. Книга разделена на пять глав и охватывает следующие темы: термодинамика твердых веществ, включая фазы, их свойства и структурный порядок; точечные дефекты в полупроводниках; расширенные дефекты в полупроводниках и их взаимодействие с точечными дефектами и примесями; рост полупроводниковых материалов; физическая химия процессов обработки полупроводниковых материалов. Книга, с применением во всех технологиях твердотельных устройств, будет полезна продвинутым студентам и исследователям в области материаловедения, физики, химии, электротехники и электроники. Она также будет полезна для специалистов, работающих в полупроводниковой промышленности.
#научно-популярная литература
