Книга "Травление в микросистемной технологии" рассказывает о том, как микрокомпоненты и микроустройства находят все большее применение в повседневной жизни. Она объясняет, что специфические функции всех современных микроустройств сильно зависят от выбора и сочетания материалов, используемых в их производстве, то есть от химических и физических свойств твердых тел этих материалов и их обработки. Точное создание различных материалов является необходимым условием для изготовления микроустройств. Микротехническое травление функциональных узоров является многопрофильной областью, основанной на знаниях химии, физики и инженерии. Книга разделена на две части: в первой, общей, части представлены процессы мокрого и сухого травления, представлены научные основы, а вторая часть содержит каталог составов травильных ванн, инструкции по травлению и параметры. Вторая часть позволяет лучше понять первую и также дает обзор данных, которые необходимы на практике.
В книге детально рассматриваются технологии микротравления и их дальнейшее применение в различных областях обычной жизни. Речь идет о материалах, входящих в состав микроустройств, а также их химических и физических свойствах, обработке и точных технологиях, позволяющих создавать необходимые микроэлементы. Книга состоит из 2 частей, где представлены как технологические процессы, так и фундаментальные научные основы, а вторая часть содержит состав растворов для травления, инструкции и параметры. Это поможет лучше понять предложенную общую информацию и даст обзор необходимых данных в практической среде.
Электронная Книга «Etching in Microsystem Technology» написана автором Michael Kohler в году.
Минимальный возраст читателя: 0
Язык: Английский
ISBN: 9783527613793
Описание книги от Michael Kohler
Microcomponents and microdevices are increasingly finding application in everyday life. The specific functions of all modern microdevices depend strongly on the selection and combination of the materials used in their construction, i.e., the chemical and physical solid-state properties of these materials, and their treatment. The precise patterning of various materials, which is normally performed by lithographic etching processes, is a prerequisite for the fabrication of microdevices. The microtechnical etching of functional patterns is a multidisciplinary area, the basis for the etching processes coming from chemistry, physics, and engineering. The book is divided into two sections: the wet and dry etching processes are presented in the first, general, section, which provides the scientific fundamentals, while a catalog of etching bath composition, etching instructions, and parameters can be found in the second section. This section will enhance the comprehension of the general section and also give an overview of data that are essential in practice.
