Книга "Наноэлектроника" рассматривает фундаментальные принципы и технологические основы создания наноэлектронных устройств. В ней описываются методы формирования элементов электроники на уровне нанометровых размеров и рассматриваются основные подходы к созданию приборов и устройств наноэлектроники. Кроме того, в книге проанализированы современные тенденции развития наноэлектроники с учетом технологических норм, которые составляют менее 100 нм.
Исследуются философские и проектные основания нанотехнологии. Приводятся подходы к формированию элементов метрологической техники в конструкциях и аппаратах нанотехнологии размером менее 1 микрона. Анализируются тенденции появления нанотехнологии с размерной сеткой образования меньше 1 нанометра.
#учебники и пособия для вузов
#электроника
