Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 3. Эпитаксиальный рост (Коллектив авторов).

Книга "Введение в технологию материалов для микроэлектроники" включает три части, третья часть рассматривает эпитаксиальные технологии, процесс, используемый при создании тонких пленок на подложках при низких температурах. Описание эпитаксии охватывает теоретические основы, развитие этого процесса, использование его в связи с другими областями нанотехнологии, био