Книга "Технологии субмикронных структур микроэлектроники" содержит обобщенные результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Она предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, а также для специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
#учебники и пособия для вузов
#материаловедение
#электроника
