Книга “Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials” написана автором Joseph Steigerwald и является справочным руководством по технологии Chemical Mechanical Planarization в микроэлектронике.
Эта книга описывает роль CMP в современной микроэлектронной промышленности, ее универсальность, применимость к многокомпонентным поверхностям и относительную экономичность. В книге также описаны механизмы и инженерные применения этой технологии. Авторы - ведущие специалисты в области CMP - дают исторический обзор этой технологии, объясняют различные химические и механические концепции, а также описывают механизмы и приложения CMP.
Книга будет полезна инженерам, работающим в микроэлектронике, которые хотят получить полное представление о технологии CMP и ее применении в производстве интегральных схем на кремнии.
#научно-популярная литература
