Химические методы роста электронных материалов являются краеугольным камнем обработки микроэлектронных приборов. Эта книга рассматривает применение металлоорганической химии для осаждения соединений полупроводников из газовой фазы. Обсуждаются методы осаждения из паровой фазы, используемые для получения полупроводниковых покрытий, а также свойства материалов, которые делают металлоорганические прекурсоры полезными в электронной промышленности, для различных материалов. Темы включают: техники роста соединений полупроводников, металлоорганические прекурсоры для MOVPE III-V, металлоорганические прекурсоры для MOVPE II-VI, одноисточниковые прекурсоры, химическое осаждение из паровой фазы, эпитаксия с атомарным слоем.
Несколько полезных приложений и тщательно подобранный актуальный список литературы дополняют этот практический справочник для специалистов в области материаловедения, химии твердого тела и органической химии, а также инженеров.
Эта книга представляет собой практическое пособие для ученых-материаловедов, неорганических и органо-металлических химиков, инженеров и других специалистов в этой области. Она обсуждает применение металлорганической химии для парофазного осаждения бинарных и многокомпонентных полупроводников. Здесь рассматриваются как методы осаждения полупроводников, так и свойства материалов, которые делают металлоорганические предшественники полезными в электронной промышленности. В эту книгу вошли следующие аспекты:
#научно-популярная литература
