Эта книга описывает инновационные технологии микро-и нанообработки материалов. Автор Игорь Житянин сосредотачивает внимание читателя на ключевых технологических процессах, которые способствуют получению материалов с уникальными свойствами. В данном пособии рассматриваются режимы обработки и процессы выращивания поликремниевого и аморфного слоев. Обсуждаются методы отжига, легирования и отжига полупроводниковых материалов, включая формирование новой контактометаллической схемы, планаризацию и формирование диэлектрических плёнок. Пособие можно использовать для подготовки специалистов в области нанотехнологий и микросистемной техники, конструирования электронных устройств и электроники. Книга подойдет магистрантам, планирующим карьеру в этих областях.
В пособии рассматриваются фотонно-стимулируемые взаимодействия потоков света с различными полупроводниковыми материалами, разработаны режимы обработок и технологические процессы: отжиг и рекристаллизация кремниевых слоев, легирование полупроводниковых материалов, получение контактно-металлузиционных систем, процесса планаризации и получения диэлектрических тонких пленок и т.п. Пособие может быть полезно при изучении технологий наносистемной техники.
В пособии рассматриваются фундаментальные вопросы эволюции света в полупроводниках, фотонно стимулированные режимы формирования наногетероструктур, отжиг и легирование полупроводников, поверхностная обработка полупроводников и технология изготовления структур приборы и т.д. для магистров направлений: "нанотехнологии и микросистемотехника", "конструирование и технологическая подготовка электронных устройств". Книга может представлять интерес для исследователей и преподавателей вузов.
#учебники и пособия для вузов
